Ein Kompetenzzentrum der Nanotechnologie mit den Kernbereichen mechanisch/chemische Bearbeitungsverfahren, Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungsverfahren, optische Bearbeitungsverfahren und verwandte Gebiete sowie Charakterisierung von Oberflächen.

Das Kompetenzzentrun des Nanotechnogie-Förderprogrammes des BMFB beschreibt seine Arbeit, mit aktuellen Informationen und Terminen.