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Ein Kompetenzzentrum der Nanotechnologie mit den Kernbereichen mechanisch/chemische Bearbeitungsverfahren, Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungsverfahren, optische Bearbeitungsverfahren und verwandte Gebiete sowie Charakterisierung von Oberflächen.
Das Kompetenzzentrun des Nanotechnogie-Förderprogrammes des BMFB beschreibt seine Arbeit, mit aktuellen Informationen und Terminen.
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